抛光液的性能对工件双面抛光的影响

        抛光液的性能直接影响到抛光后工件的表面质量，是双面抛光的关键要素之一。抛光液一般包括超细的固体磨粒(如纳米A120:及Si0:磨粒等)、表面活性剂以及氧化剂和稳定剂等几部分，其中固体磨粒产生切削作用，去除发生化学变化需要切除的部位，氧化剂产生化学腐蚀溶解作用，溶解切屑。在抛光过程中，抛光液中磨粒的种类、形状、大小、浓度、化学成分、PH值、粘度、流速和流动的途径都会对去除速度产生影响。

　　对不同材料的工件进行抛光时，所需要抛光液的成份、PH值也不尽相同同。PH值影响工件的表面质量和去除率表现在对磨料的分解与溶解度、被抛表面刻蚀及氧化膜的形成、悬浮度(胶体稳定性)等方面，因此需要严格控制抛光液的PH值。当处于抛光氧化物时，抛光液一般选取Si0:作为磨料，PH值控制在10以上;而抛光金属时，抛光液一般选用酸性的，保证PH值在较小的数值，以便保持极高的工件去除率。

　　磨粒按硬度可分为软磨粒和硬磨粒两类。常用的磨粒包括氧化铝系、碳化物系、超硬磨料系和软磨料系4类。抛光用磨粒需具有下列性能:

　　(1)磨粒形状和尺寸均匀一致，保持在一定范围;

　　(2)磨粒的熔点要比工件的熔点高;

　　(3)磨粒能适当地破碎，使切刃变锋利;

　　(4)磨粒在抛光液中容易分散。

　　一般情况下，当磨粒硬度以及尺寸增加时，工件去除率增加，但是同时划痕增加，工件的表面质量下降;而磨粒的尺寸过小时又容易产生凝聚成团的现象，增加工件表面划痕。当抛光液中磨粒的浓度增加时，工件去除率也随之增加，但当磨粒的浓度达到某一数值时，工件去除率也将停止增加，维持在某一常数，这种现象称为材料去除饱和，但是由于磨粒浓度增加，工件表面的划痕反而增加，表面质量下降。

　　研究抛光液的目的是为了找到去除率高、平面度好、膜厚度均匀性好的抛光液，达到机械作用于化学作用的最佳组合。另外，还需要考虑对抛光机的腐蚀性、易清洗性、废料的处理费用及安全性等问题。